| 企业等级： | 普通会员 |
| 经营模式： | 生产加工 |
| 所在地区： | 北京 海淀区 |
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发布时间：2022-05-18 03:45:00 作者：创新通恒
杂质捕获仪
技术参数
1、工作电源： AC 220V±10%，50Hz。2、水浴加热功率： 1000W。3、水浴控温范围： 室温～90℃内可调。4、水浴温度显示： LED数字显示。5、水浴控温精度： ±1℃。6、漏斗控温范围： 室温～90℃内可调。7、漏斗控温显示： LED数字显示。8、漏斗控温精度： ±2℃。9、外形尺寸： 控制箱 390(长)×260(宽)×590(高)；水浴箱 90(长)×290(宽)×370(高)。10、环境温度： ≤35℃。11、相对湿度： ≤85%。12、整机功耗： 不大于1200W。
智能杂质捕获仪主要特点
1. 连续进料，杂质被留在系统内，而主成分则流出系统，所以杂质在与主成分获得分离的同时还被富集；
2.杂质可以是前杂，亦可是后杂；
3. 成功分离与富集有一定的前提条件: 流动相组成对分离组分保留影响较为显著，条件设计成功之后，原料连续加入，分离纯化过程，只有需要的杂质会被留在系统内，而其它成分则流出系统。
4.杂质会逐步积累，因而浓度增加，非常有利于蒸发回收。
5. 分离过程全自动，无需人工干预。
电子气体中金属杂质的捕集
电子工业用气体统称电子气体，指在半导体及其它电子产品生产过程中所用到的高纯度气体，是微纳电子制造国家安全战略产业的关键支撑材料，其广泛应用于大规模集成电路、液晶显示器、多晶硅和薄膜太阳能电池、新型电光源、光电半导体器件以及光纤通讯器件等电子行业 [1] [2] [3]。表1为一些电子工业生产中所常用到的高纯气体 [3]。
近年来，随着微纳电子***制程向大尺寸、窄线宽、高集成度、高均匀性和高完整性发展，对电子气体的纯度和一致性要求越来越高，除了应具有5 N (99.999%)以上纯度，还要求电子气体中的H2O、气体杂质(如O2、CO2、CO、CH4等)和金属杂质(如Al、Cr、Cd、Cu等)的指标达到ppb (10?9)至ppt (10?12)数量级，气体的品质要求高度稳定且一致。电子气体的纯度对于半导体器件的质量与成品率影响很大，尤其是气体中的金属杂质，是使半导体产生漏电、晶格缺陷和断线的主要原因
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